ACU2000B
※本製品の冷媒回路保証期間は、お買い上げ後2年間
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮させます。
コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。
▲ ナノサーモ構造図
設定状態表示ランプ
設定値表示部
運転ランプ
ON/OFFスイッチ
各種設定キー部
▲ コントローラ部
- 精密加工機
- 精密計測機
- 半導体・FPD製造装置
- 分析機器
- 精密塗装機
- 局所空間の精密温調
- 加工物・計測物の温調
- 精密加工機のエアーベアリング
- 三次元測定器のエアースライド
| 型式 | ACU | 100-MD | 300-MD | 600-MD | 1000B | 2000B | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 適用流体 | 圧縮空気 | |||||||
| 使用範囲 | 使用圧力範囲（ゲージ圧） | MPa | 0.2～0.85 | 0.2～0.83 | ||||
| 出口圧力調整範囲（ゲージ圧） | MPa | 0.05～0.83 | - | |||||
| 入口空気温度 | ℃ | 5～40 | 15～35 | 15～30 | ||||
| 出口温度設定範囲 | ℃ | 16～30 | 15～35 | 15～40 | ||||
| 出口空気流量 | L/min | 30～130※2 | 50～390※3 | 130～600※3 | 130～1000※3 | 330～2100 | ||
| 周囲温度 | ℃ | 18～25 | ||||||
| 入口空気水蒸気含有量 | ℃ | 飽和以下 | 圧力下10℃以下 | |||||
| 基本性能 | 出口空気露点（大気圧下） | ℃ | -17以下※4 | - | ||||
| 出口空気温度制御精度※1 | ℃ | 設定値±0.01※1 | ||||||
| 条件 | 出口設定温度 | ℃ | 23 | |||||
| 入口空気温度 | ℃ | 5～40 | 15～28 | |||||
| 入口空気圧力（ゲージ圧） | MPa | 0.7 | ||||||
| 入口空気流量 | L/min | 125 | 375 | 750 | 1000 | 2100 | ||
| 出口空気流量 | L/min | 100 | 300 | 600 | 1000 | 2100 | ||
| パージ空気流量 | L/min | 25 | 75 | 150 | 0 | 0 | ||
| 周囲温度 | ℃ | 25 | ||||||
| 電気特性 | 電源 | V(Hz) | 単相100±10%(50/60) |
単相200±10% (50/60) |
||||
| 最大運転電流 | A | 4 | 5 | |||||
| 電源容量 | kVA | 0.4 | 0.5 | 1 | ||||
| 遮断器容量 | A | 10 | ||||||
| 温度制御方式 | ペルチェ式定電流制御（PID制御） | |||||||
| 放熱方式 | 空冷式 | |||||||
| 除湿方式 | 中空糸膜式 | - | ||||||
| 出入口配管接続口径 | Rc1/4 | Rc3/8 | Rc1/2 | Rc3/4 | ||||
| 外装 | 塗装色：N5.5/N8.0 | |||||||
| 機器細目 |
エアーフィルター / ミクロミストフィルター 膜式ドライヤー / レギュレータ フロースイッチ内蔵※5 |
フロースイッチ内蔵 | ||||||
| 質量 | kg | 28 | 36 | 38 | 35 | 45 | ||
| 外形寸法 | 高さ | mm | 490 | 510 | 530 | |||
| 奥行 | mm | 500 | 550 | 600 | ||||
| 幅 | mm | 240 | 320 | 320 | ||||
風通しを良くするために、また保守点検をしやすくするために充分なスペースを確保してください。
