■	清洁排气・真空 由于ISP真空泵的泵体不使用润滑油和封水，不存在润滑油的逆扩散，因而能获得干净的真空。 As ISP vacuum pumps do not contain lubricating oil or sealing water resulting in no back-migration of fluid, it ensures clean vacuum.
■	轻巧・紧凑 采用双层重叠的独特设计，产品轻巧紧凑。 It is light-weight and occupies minimum space because of original design called double wrap scroll.
■	低振动・低噪音 由于在旋转叶轮的1周期内，吸气·压缩·排气工序连续完成，因而压缩转矩的变动很小，实现低振荡·低噪音性能。 While orbiting scroll makes one turn, the process of suction, compression and exhaust proceeds continuously, resulting in a minimum pulsation which provides less vibration and low noise.
■	适用于广泛的压力领域 采用双层重叠方式，动态非常稳定，可适用于从大气压到最后压力的广泛压力领域。无论是大气压还是最后压力的动力变化少，可实现大气・ 真空的重复连续运行。 Due to double-wrap scroll design which is dynamically stable, ISP vacuum pumps can deal with a wide range of applications ranging from atmospheric pressure to the ultimate pressure. There is little power variance between atmospheric pressure and the ultimate pressure, which allows repeated continuous operation between atmospheric pressure and vacuum.
■	新功能・新结构 通过改进空气闪喷器功能・密封，提高了水蒸气·异物的排泄·耐久性·维护周期 The Air Flush device has been added as a standard feature. Shaft seal configuration has also improved. Due to the Air Flush and the new shaft seal system, reliability and maintenance interval as well as evacuating performance of water vapor and small particles have been now remarkably improved.

ISP-250B/500B 规格（Specifications）

型号 Model ISP-90 New 设计排气速度 Displacement L/min（50/60Hz） 90 / 108 最后压力 Ultimate pressure Pa {Torr} 5 {3.8×10-2} 电动机输出 Motor power kW 0.15 电压 Voltage V 单相 Single phase 100、115 / 200、230 三相 Three phase 无 噪音值 Noise level dB(A) 52（at Air Flush 60） 泄漏量 Leak tightness Pa・L/s {mbar・L/s} 1x10-2｛1x10-4｝ 重量 Weight kg 单相 Single phase 14 三相 Three phase 无 水蒸汽处理量 Water vapor g/day 5（at Air Flush） 空气闪喷量 Air-flush L/min 7（at Air Flush） 外形尺寸 Dimensions mm 单相 Single phase 　L308×W214×H225 三相 Three phase 无 吸气口径 Inlet connection NW25 排气口径 Outlet connection NW16 冷却方式 Cooling system 空气冷却 Air cooled 标准配置 Standard equipment 空气安全闪喷器、计时器、 附热电流保护（单相规格） Air Flush 、Hour counter, Thermally protected for single phase motor 型号 Model ISP-250B ISP-500B 设计排气速度 Displacement L/min（50/60Hz） 250/300 500/600 最后压力 Ultimate pressure Pa {Torr} 1.6 {1.2×10-2} 1.0 {7.5×10-3} 电动机输出 Motor power kW 0.4 0.6 电压 Voltage V 单相 Single phase 100、115 / 200、230 三相 Three phase 200、208、230 / 380、415、460 噪音值 Noise level dB(A) 58 （at Air Flush 66） 60 （at Air Flush 68） 泄漏量 Leak tightness Pa・L/s {mbar・L/s} 1x10-2｛1x10-4｝ 重量 Weight kg 单相 Single phase 25 44 三相 Three phase 23 38 水蒸汽处理量 Water vapor g/day 25（at Air Flush） 空气闪喷量 Air-flush L/min 10（at Air Flush） 外形尺寸 Dimensions mm 单相 Single phase 　L400×W252×H336 L443×W328×H372 （L443×W298×H397） 三相 Three phase L370×W252×H336 L372×W328×H372 (L372×W298×H397） 吸气口径 Inlet connection NW25 NW40 排气口径 Outlet connection NW16 NW25 冷却方式 Cooling system 空气冷却 Air cooled 标准配置 Standard equipment 空气安全闪喷器、计时器、 附热电流保护（单相规格） Air Flush 、Hour counter, Thermally protected for single phase motor

・最后压力是全程压力测量值。Ultimate pressure is measured as total pressure. ・噪音值是在无音室中的测量值。Noise is measured in an anechoic room. ・（　）内尺寸为吸气口、排气口为纵向的情况。Figures in parentheses are dimensions when inlet and outlet are placed vertically. ■ 使用用途（Applications）   ■喷镀装置、蒸镀装置・离子电镀装置 (Sputtering equipment, Vacuum deposition equipment, lon plating equipment)  ■加速器 (Accelerator, Synchrotron Radiation) ■表面修正装置、电子束加工机 (Surface modification, Electron beam process) ■真空溶解炉、真空热处理炉 (Vacuum furnace, Heat treatment furnace) ■气体循环・捕集装置  (Gas recovery devices) ■理化实验用、分析机器用 用 (Laboratory use) ■各种排气装置  (Vacuum equipment) ■真空包装机  (Vacuum packaging machine) ■He泄漏检测器  (Leak detectors) ■其他 (Others) ■真空吸附处理 (Device handling system) 　 　 ■ 安全注意事项（Precaution on Usage）       ■ 这种真空泵是清洁排气规格。 请不能排放对人体有毒的气体、爆炸火灾危险性的气体、腐蚀性气体、药品、溶剂、粉体等物质。对于排放了特殊气体等的泵本公司不承担维护保修责任，请予以谅解。   　 This pumping system is suitable for clean processes only. Do not use explosive, flammable, toxic or corrosive substances or substances which contain chemicals, solvents or particles. 阿耐思特岩田IWATA will not perform maintenance work on pumps which have used hazardous substances.   ■ 使用环境温度应在5℃～40℃范围。   　 Use at ambient operation temperature in the range of 5℃ to 40℃